產 品 介 紹





DLC (Diamond Like Carbon) 類鑽膜

所謂的類鑽膜是一種非結晶構造,具有奈米級鑽石和石墨的sp3/sp2鍵所結合的膜。主要是運用在切割工具,金屬模具和各種機械零件。 DLC會根據不同的成膜方式、膜構造而有各式各樣的特長,在PVD(物理蒸鍍)是可以鍍出不含氫的無氫DLC。
一般而言無氫DLC是可以達到維氏硬度(HV)5,000以上的數値,其特長是非常高的硬度和低摩擦係數。但是,用PVD法的無氫DLC也因為高硬度伴隨著高内部應力,厚膜化困難。
而CVD(化學蒸鍍)法是可鍍出含有氫的DLC,維氏硬度約(HV)4,000以下。
雖然硬度低於無氫DLC的硬度,但其耐受性良好,並且可以鍍複雜形狀和圓柱形狀的膜。

 


獲得的效果

 

關於新明和DLC膜

DLC最大的特徴是非常高的硬度和耐摩耗性。
可延長製造現場不可或缺的切割工具、模具、沖頭、各種機械部品的壽命,發揮其長壽命化的效果。
在切割工具的情況下,也可以獲得“切割加工表面的改善”和鋁加工中的“焊接防止”等效果。

 

新明和的DLC設備是將石墨作為蒸鍍源而以脈衝制御的PVD方式鍍膜,可提供無氫DLC膜。
Sp3鍵結約70-80%,高硬度(HV6,000以上)、低摩擦係数、可低温(150℃以下)鍍膜。
可鍍膜厚1.5μm以上,是可鍍比一般的DLC更厚膜的製程。
也被採用作為主要刀具製造商的立銑刀,並具有模具和機器零部件的實績。另外,新明和的設備也有開發具有導電性的DLC膜「CN膜」。
當需要導電和耐磨性時,新明和的CN膜會發揮更多的效果。

 

 

 

DLC膜特性&規格仕樣

DLC膜特性

膜質

ta-C

CN

硬度

HV6,000-8,000

HV2,000-3,000

摩擦係数

0.1-0.2

-

膜厚

1.5μm
(
標準:0.7-1.0μm)

1.0μm

片電阻

1-5×106Ω/□

0.02 Ω/□

耐熱温度

500

500

膜色

濃灰色

濃灰色

設備規格

尺寸

W 6,200mm

D 2,620mm

H 2,650mm

重量

5,200kg

處理領域

Φ600 × H 600mm

處理温度

<150