產 品 介 紹





中古設備零件表

         S / N     狀況
 
BG MKS 1000 m bar
628BX13MBE4B

1 power in   +-24v
power out 0~10v
 
 
BG MKS 10 m bar
631A11MDEH

2 power in   +-24v
power out 0~10v
 
 
BG MKS 10 m bar
627BX11MDC9B

11 power in   +-24v
power out 0~10v
 
 
BG MKS 10 Torr
628B11TEE1B/10Torr
  5 power in   +-24v
power out 0~10v
 
 
141A Baratron® Absolute Ambient Vacuum Switchvacuum
pressure    switch
MKS 141A-23030 016277447 13 power in   +24v
trip pt   5 m bar
range   10 m bar
1000~0.1 TORR
 
 
load lock
transducer
MKS 901 P-11   24 power in
    9~30 vdc / 15w
power out
   1~9  vdc
1000~10E-5 TORR
 
 
transducer MKS 902 -1112 0725368142 6 1000~1 TORR  
 
BG MKS          
  MKS          
  MKS          
  MKS          
  MKS          
               
 
TPR inficon TPR 280   11 power in    14~30 vdc / 1w  
               
               
 
GAUGE CVG101GA01     1 WORKER BEE 庫存3個.
見微機台用2個
結餘1個
 
GAUGE TTR91N     2 LEYBOLD  
 
GAUGE APGX-M-NW16/ALI     1 EDWARDS  
 
GAUGE VSA100A   8 INFICON  
               
               
               
               
               
               
 
Bellows NW16-250L     4    
NW25-100L     10    
NW40-100L     1    
NW40-200L     1    
NW40-250L     15    
NW40-500L     6    
NW40-1000L     1    
ISO160-200L     8    
               
  SINGLE CLAMP            
  CLAMP            
  BLANK            
  CENTERIG RING ISO160     66    
               
               
 
ELBOW NW16     1    
NW25     1    
NW40     4    
               
 
 REDUCER NW16-6mm     3 INFICON  
NW25-NW16     12    
NW40-NW16     1    
NW40-NW25     5    
NW50-NW40     2    
ISO60-NW40     1    
ISO80-NW40     2    
ISO100-NW50     1    
   
               
 
REDUCER NW16-1/4"SWAGELOK     8    
REDUCER NW16-3/8"SWAGELOK     1    
             
             
               
 
TEES NW 16     12    
NW 25     4    
NW 40     7    
ISO160     8    
  異徑 TEES NW40-NW16-NW40     6    
               
 
4-WAY CROSSE NW16     10    
NW25     1  
             
             
               
 
直通閥 26524-KA21-BMS1/ NW16     17 VAT 氣動 其中有2個盒裝新品
             
直通閥 NW25     1 HTC 手動
             
 
ANGLE VALVE VAP016/NW16     17 INFICON 氣動
VAP040/NW40     11 INFICON 氣動
VAP0160/ISO160     8 INFICON 氣動
24344-QA41-BLR1/0059 A-853721
不鏽鋼本體(全新品)
  2 VAT 氣動
VAP005-X     14 INFICON 氣動
XLD-40     1 SMC 氣動
XLA-M9BA     1 SMC 氣動
NW25     1 KL 氣動
NW40     1 KL 氣動
AVB-KF25-P     1 HTC 氣動
 
ANGLE VALVE NW16     2 VAT  
ANGLE VALVE NW25     2 HTC 手動
ANGLE VALVE NW40     1 HTC 手動
               
               
               
               
               
 
GATE VALVE 12PA44-ADA1/ISO160 已全面清潔完成   8 VAT 氣動
               
               
               
               
               
               
               
               
               
               
 
MFC 5% H2/Ar-100 sccm     5 AERA  
MFC SiH4-2SLM FC-7700CD   1 AERA  
MFC PH3-1.6SLM FC-7700CD   1 AERA  
MFC B(OCH3)3-1.5SLM FC-7810CD   1 AERA  
MFC O2-500 sccm     1 BROOKS  
MFC O2-6 sccm     1 BROOKS  
MFC O2-10 sccm     1 LINTES  
MFC H2-200 sccm     1 MKS  
MFC Ar-500 sccm     1 MKS  
               
               
               
 
薄膜式 1/4"-VCR-母頭     11 FUJIKING 氣動閥
薄膜式 1/4"-VCR-公頭     1 FUJIKING 氣動閥
             
             
薄膜式 1/4"-VCR-公頭     1 FUJIKING 氣動閥
 
球閥 1/4"-VCR-母頭     1   手動
球閥 1/4"-SWAGELOK     10 Swagelok 手動
球閥 3/8"-SWAGELOK     1 Swagelok 手動
             
               
               
               
 
Filter   NW16 WG2FTIRR2 300psi MAX   8      
               
               
                 
 
RF GENERATOR   40.68 MHZ 4KW   8 AD TEC    
  RF CABLE   7/16" 雙邊   10      
 
RF MATCH BOX       16 AD TEC    
                 
 
  DRY PUMP   DURA DRY 105+WS501   3 歐瑞康    
                 
 
氣體匯流排   NW-16   1對3   3      
                 
 
               
  RF電源   AE CESAR 1310 1KW   10    
 
DC電源   Huttinger SCALO30 DC30KW   ?